广东省能源局关于半导体多芯片堆叠大尺寸封装基板产品智能化项目节能报告的审查意见

粤能许可〔2026〕91号

广州市发展改革委，广州广芯封装基板有限公司：

　　《半导体多芯片堆叠大尺寸封装基板产品智能化项目节能报告》收悉。根据《固定资产投资项目节能审查和碳排放评价办法》（国家发展和改革委员会令〔2025〕第31号）、《广东省固定资产投资项目节能审查和碳排放评价实施办法》（粤发改规〔2026〕9号）的相关要求，我局对该项目节能报告进行了审查，审查意见如下：
　　一、项目采用的主要技术标准和建设方案基本符合国家和省相关节能法规及节能降碳政策的要求，原则同意该项目节能报告。
　　二、项目位于广东省广州市黄埔区九龙镇知新路1321号，总投资约267361万元，主要建设存储芯片封装基板、倒装芯片尺寸封装基板生产线，预计2027年3月投产。项目建成达产后，预计年产多芯片堆叠大尺寸封装基板产品131万片（41.87万平方米）。项目主要利用现有生产厂房、仓库及配套辅助设施，不新增建筑物。
　　三、用能工艺。
　　项目主要用能工序包括烘板、钻孔、去钻污沉铜、电镀、内层图形、内层光学检验、层压、外层图形、外层光学检验、超粗化、阻焊、表面处理、外形、电测、表面抗氧化、成品检验、包装等。
　　四、用能设备。
　　（一）主要设备。12台垂直连续电镀线（3台功率1245千瓦，9台功率830千瓦），2台有轨制导车辆烘箱（功率788千瓦）、5台隧道烤箱（1台功率391.5千瓦、4台功率358千瓦）、3条水平沉铜线（功率353千瓦）、13台真空层压机（1台功率310千瓦、12台功率30千瓦）、2台助焊剂清洗机（功率207千瓦）、2条酸性蚀刻线（功率185千瓦）、6台退膜机（3台功率180千瓦、3台功率151.7千瓦）、6条显影线（3台功率150千瓦、3台功率120千瓦）、1台快速蚀刻机（功率125千瓦）、1条陶瓷刷板线（功率120千瓦）、3条软金电镀线（功率116千瓦）、3台微蚀处理机（功率110千瓦）、3台快速蚀刻机（功率110千瓦）、1台喷砂机（功率106千瓦），以及开料、表面处理、成型机、检测、包装等设备。
　　（二）辅助设备。2台电加热导热油炉（功率600千瓦、热效率98%），2台离心式空气压缩机（排气量259.3立方米/分钟、比功率4.87千瓦/立方米/分钟、功率1287千瓦）、1台电真空热水机组（功率1275千瓦、热效率99%，备用）、1台电微压相变热水机组（功率1050千瓦、热效率99%、备用）、3台中温离心式冷水机组（功率974.2千瓦、IPLV8.933、1级能效）、4台螺杆式热泵机组（1台功率221.0千瓦、1台功率206.1千瓦、1台功率109.6千瓦、1台功率107.7千瓦）、2台水泵（功率160千瓦），以及16台变压器（2台容量5000千瓦、8台容量2500千瓦、3台容量2000千瓦、2台容量1600千瓦，1台容量1000千瓦），利旧1台低温离心式冷水机组（功率1191千瓦、COP6.31）、2台水泵（功率132千瓦）以及风机、水泵、空调、照明和环保处理设施等辅助设备。
　　五、计量器具。
　　项目对电、天然气、水配备能源计量器具，外购能源资源进入厂区时进行一级计量，各楼栋、各车间设置二级计量，主要用能设备实现三级计量。
　　六、项目建成后能源消费和碳排放主要指标。
　　项目年综合能源消费量不高于17543.15吨标准煤，其中电力消耗量不高于14229.31万千瓦时、天然气消耗量不高于4.16万立方米。项目多芯片堆叠大尺寸封装基板（投影面积）单位产品综合能耗不高于41.90千克标准煤/平方米。
　　项目年二氧化碳排放总量不高于62674.55吨，其中直接排放量不高于90.06吨，间接排放量不高于62584.49吨；项目多芯片堆叠大尺寸封装基板（投影面积）单位产品二氧化碳排放量不高于149.70千克二氧化碳/平方米，单位增加值二氧化碳排放量不高于0.674吨二氧化碳/万元。
　　七、项目在落实节能报告各项节能降碳措施基础上，应加强和改进以下节能降碳工作：
　　（一）工艺节能降碳。
　　1.应用孔链封边技术简化电镀流程，结合专利技术优化镀金与填孔工艺，减少报废率；采用热泵、水浴加热、热风循环、能量回收系统等方式提升能效，并对大功率设备配套变频调速和就地补偿。
　　2.冷水机组余热回收制取36℃热水供末端空调；空压机余热回收用于供应工艺低温热水，降低能源消耗。
　　3.对主要水泵配置变频调速控制，降低电耗。
　　（二）辅助及附属生产设施节能降碳。
　　1.项目主要用能产品设备能效水平满足相关标准二级能效以上要求。
　　2.选用低损耗节能型电力变压器，合理选配装机容量，使之在经济负荷率范围内运行；在负荷中心设置供配电点，以就近供电；就地进行无功补偿，使功率因数在0.95以上。
　　3.电气照明选择合理的照度标准，严格控制照明功率密度值；选用高效LED节能灯具，充分利用自然光和太阳能光源。
       （三）建筑节能降碳。
　　1.合理设计建筑结构和朝向，建筑布置尽量南北向，主体生产厂房东、西面外墙尽量少开窗，以减少日照对建筑影响，降低夏季冷源消耗。
　　2.在满足生产要求的前提下，尽可能减少外墙面积与所包围建筑体积的比值，在满足采光和通风要求的条件下，合理确定门窗面积。
　　3.依托建筑屋顶开展分布式光伏发电建设，总装机容量力争不低于650千瓦。
　　（四）能源计量和管理。
　　1.根据《用能单位能源计量器具配备和管理通则》（GB17167-2025）等规范，健全能源计量、监测管理制度，建立能源计量管理体系。
　　2.配备的电表、天然气表等计量器具，精度要符合《用能单位能源计量器具配备和管理通则》（GB17167-2025）要求。
　　3.按照《重点用能单位节能管理办法》（2018年修订）相关要求接入全省能耗在线监测系统，定期报送能源利用状况和碳排放情况报告。
　　（五）其他要求。
　　1.项目建成投产后，应认真执行国家、省节能降碳政策要求，积极开展节能降碳技术改造，并综合采取碳排放配额交易、项目碳排放等量替代等措施减少项目碳排放。
　　2.项目应优先选用能效碳效标准领先的产品和设备，将能效碳效指标作为重要的技术指标列入设备招标文件和采购合同，不得使用国家明令禁止和淘汰的落后工艺及设备。
　　3.加强能源和碳排放管理，对企业能耗、碳排放进行实时记录、监测和分析。
　　八、项目建设单位、建设地点、建设规模、主要生产装置、用能设备、工艺技术路线、主要产品品种及其他方面较节能报告、节能审查意见等发生重大变化的，应按照《固定资产投资项目节能审查和碳排放评价办法》（国家发展和改革委员会令〔2025〕第31号）第十八条规定申请变更。
　　九、请广州广芯封装基板有限公司根据本审查意见和项目节能报告，对项目设计、施工、竣工验收以及运营加强管理，及时报告本审查意见落实情况和项目有关重大事项。我局按规定组织开展对节能审查意见落实情况的跟踪检查。
　　十、请广州广芯封装基板有限公司在项目投入生产、使用前，组织对项目节能降碳相关情况进行验收，并将验收报告报我局和广州市发展改革委留存。未经节能审查验收或验收不合格，不得投入生产、使用。
　　十一、请广州市发展改革委积极推进重点用能单位节能降碳改造工作，加强用能与碳排放预算精细化管理，为广州市后续新增项目建设腾出能耗与碳排放空间。
　　十二、本节能审查意见自印发之日起两年内有效，项目逾期未开工建设的，应重新进行节能审查和碳排放评价。